Sensor de temperatura y flujo de laboratorio en chip

El Centro de Vuelo Espacial Goddard de la NASA ha desarrollado un sensor para sistemas microanalíticos que mide, en tiempo real, el caudal y la temperatura del líquido que se está muestreando. Los sensores de corriente desvían el líquido a sensores de flujo y temperatura separados, lo que puede provocar fugas de líquido y la necesidad de una muestra inicial más grande. Este diseño elimina esa desviación. Los sensores del sistema miden caudales en el rango de nanolitros por minuto y temperaturas desde más de 150 °C hasta menos de -80 °C.

Los sensores de este sistema están revestidos de nitruro de silicio (SiN) para aislarlos eléctricamente del flujo de fluido y están suspendidos en el medio del canal para maximizar su sensibilidad y tiempo de respuesta. Los sensores de temperatura se utilizan como parte del diseño del sensor de flujo. El sensor de temperatura al frente (antes) del calentador da la lectura de temperatura inicial del fluido. El sensor detrás (siguiendo) al calentador mide cuánto calor pudo inyectar el calentador en el fluido. Al conocer la conductancia térmica y la capacidad calorífica del fluido, además de la potencia en la resistencia y el cambio de temperatura, se puede calcular el caudal del fluido.

Los sensores están fabricados en una oblea de silicio (Si) que tiene un microcanal grabado. Se deposita una capa de sacrificio sobre la oblea de Si para rellenar los canales; esto proporciona una superficie plana para fabricar los sensores.

NASA está buscando activamente licenciatarios para comercializar esta tecnología. Comuníquese con el Conserje de licencias de la NASA en Esta dirección de correo electrónico está protegida contra spambots. Necesita habilitar JavaScript para verlo. o llámenos al 202-358-7432 para iniciar conversaciones sobre licencias. Siga este enlace para obtener más información:https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .