Semitron® MPR1000 para la industria de semiconductores

Semitron® MPR1000 es un nuevo material de ingeniería desarrollado por Mitsuibishi Chemical Advanced Materials para aplicaciones de semiconductores. MPR significa máxima resistencia al plasma. Está diseñado para su uso en cámaras de plasma de vacío para reemplazar la cerámica y el cuarzo para la producción de UCI. Las cerámicas son más caras y el cuarzo es propenso a romperse. También se desempeña mejor en esta aplicación que PEEK, PAI como Torlon® o termoplásticos de poliimida. Por ejemplo, MRP1000 tiene una mayor vida útil en cámaras de plasma de hasta 25 veces en ozono que las poliimidas como Vespel®.

Las piezas fabricadas con MPR1000 incluyen tornillos, tuercas hexagonales, arandelas planas, anillos de sujeción, anillos de trinchera, pasadores y cabezales de ducha, así como pasadores de centrado, anillos de enfoque, aisladores, ventosas, guías de obleas y muchas piezas personalizadas.

Ventajas de Semitron® MPR1000

Excelente resistencia al calor

Baja tasa de erosión en cámaras de plasma

Bajo contenido iónico y baja emisión de gases

Excelente resistencia a las astillas

Excelente durabilidad

Fácilmente mecanizado

Material plástico de menor costo que también proporciona el mayor rendimiento en cámaras de plasma

¿Qué es el plasma?

El plasma se describe a menudo como el cuarto estado de la materia porque no es un líquido, un gas ni un sólido. Existe en forma de iones y electrones. En esencia, el plasma es un gas ionizado electrificado con electrones adicionales tanto negativos como positivos. Si bien el plasma existe en otras partes del universo, es poco lo que ocurre naturalmente aquí en la tierra. Ejemplos de plasma en nuestro planeta son los rayos, la electricidad estática y las auroras.

¿Por qué tratar una superficie con plasma?

El tratamiento con plasma de la superficie de una oblea de silicio se realiza generalmente para limpiar, activar la superficie, depositar y grabar. El tratamiento de las superficies con plasma elimina cualquier contaminante extraño, lo que las hace más adecuadas para su procesamiento posterior.

El tratamiento con plasma de una superficie se realiza generalmente en una cámara de la que se ha evacuado el aire. Luego, un gas fluye hacia la cámara a baja presión. Por lo general, se utiliza oxígeno industrial como gas de proceso, de ahí la frase comúnmente conocida "plasma rico en oxígeno". Pero también se utilizan a menudo nitrógeno, argón, hidrógeno y tetrafluorometano de carbono. Estos gases o una combinación de ellos se utilizan en la mayoría de los laboratorios de todo el mundo. Semitron MPR1000 puede soportar estos entornos hostiles mejor que los materiales tradicionales:cuarzo, cerámica, Torlon®, Vespel® o PEEK.

Luego, el gas es energizado por energía de radiofrecuencia que se ha generado entre una serie de electrodos. El resultado es plasma. Al seleccionar la mezcla de gases, la presión y la potencia, se puede controlar con precisión el efecto del tratamiento con plasma en la superficie.

Tasa de erosión baja

En comparación con el porcentaje de pérdida de peso en plasma rico en oxígeno, Semitron® MPR1000 supera a PEEK, Torlon® y Vespel®. MPR1000 se erosiona en .44% en 1KW. PEEK pierde un 7,98%, mientras que Torlon se erosiona en un 6,86% y Vespel en un 6,15%. MPR1000 funciona 13 veces mejor que Vespel.

Limpieza:bajo contenido de material iónico y baja emisión de gases

Semitron® MPR1000 tiene un bajo contenido de material iónico y baja emisión de gases. Un ion es un átomo o molécula que lleva una carga eléctrica. Por lo tanto, los contaminantes del material en la cámara de plasma al vacío serán bajos.

Costo

Semitron® MPR1000 tiene un costo general más bajo que otros materiales comúnmente utilizados y, al mismo tiempo, proporciona el mayor rendimiento en cámaras de plasma.

¿Impresiones, piezas o problemas? Contáctenos en Craftech Industries, Inc. Hudson, NY.

Craftech es un fabricante de sujetadores, componentes y piezas personalizadas en Semitron MPR1000.