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Matrices láser de cascada cuántica cónicas integradas con cavidades Talbot

Resumen

El escalado de potencia en el láser de cascada cuántica de área amplia (QCL) generalmente conduce al deterioro de la calidad del haz con una emisión de patrón de campo lejano de múltiples lóbulos. En esta carta, demostramos una matriz QCL ahusada integrada con la cavidad Talbot en un lado de la matriz. La operación fundamental del supermodo se logra en las matrices con un extremo recto cónico conectado a la cavidad de Talbot. El campo lejano lateral del supermodo fundamental muestra una divergencia de haz limitada por difracción cercana de 2,7 ° . La potencia de salida de una matriz de cinco elementos es aproximadamente tres veces más alta que la de un láser de una sola cresta con una longitud de onda de emisión de alrededor de 4,8 μm. Sin embargo, las matrices con el extremo cónico conectado a la cavidad de Talbot siempre muestran una operación en supermodo de orden superior, sea cual sea la longitud de la cavidad de Talbot.

Antecedentes

El láser de cascada cuántica (QCL), inventado en 1994, ha sido una de las fuentes de luz más importantes en el infrarrojo medio y lejano por su flexibilidad y portabilidad de longitud de onda [1, 2, 3]. Las aplicaciones populares de las QCL han cubierto muchas áreas, como la comunicación óptica en el espacio libre y la contramedida infrarroja dirigida (DRICM), detección de trazas químicas de explosivos, toxinas, contaminantes y pruebas médicas [4, 5, 6, 7]. Algunas aplicaciones siempre exigen una potencia de luz de alta salida para un mejor efecto de interferencia y precisión de detección. Se pueden obtener QCL de alta potencia ampliando el ancho del área de la región activa. Sin embargo, una simple ampliación de la cresta sin un diseño de ingeniería de guía de ondas o óptica externa deteriorará la calidad del haz de los QCL con una emisión de patrón de campo lejano de múltiples lóbulos [8]. La emisión de un lóbulo se obtenía en el pasado con métodos tales como QCL de retroalimentación distribuida de cristal fotónico (PCDFB), QCL de cavidad en ángulo, QCL de amplificador de potencia de oscilador maestro y QCL de área amplia a través de mecanismos de retroalimentación externos [9,10,11 , 12]. Recientemente, las matrices de bloqueo de fase han sido enfoques populares para mantener la emisión de QCL de cresta ancha con patrones de haz estrechos coherentes.

Las matrices de bloqueo de fase se han aplicado hábilmente en láseres semiconductores de cresta ancha y baja divergencia desde la década de 1980 [13]. En trabajos anteriores, las matrices QCL bloqueadas en fase se han estudiado en matrices de unión Y, matrices acopladas por ondas con fugas resonantes y matrices acopladas por ondas evanescentes, como lo hizo el láser de infrarrojo cercano en el pasado [14,15,16 , 17,18]. Estas estructuras provocan grandes pérdidas en la guía de ondas [15] o dan como resultado una acumulación de calor al seguir una corta distancia adyacente para obtener el acoplamiento [16,17,18]. Recientemente, se reportaron arreglos QCL acoplados por difracción que integraban una cavidad lateral basados ​​en efectos Talbot acoplados por difracción [19]. En la estructura acoplada por difracción, el acoplamiento ocurre en la cavidad de Talbot por la difracción del extremo de la cresta y la reflexión de la faceta de la cavidad. Los elementos de la matriz QCL de bloqueo de fase acoplados por difracción se pueden colocar en un espacio amplio, lo que disminuirá la acumulación de calor.

El efecto Talbot es un fenómeno óptico bien conocido en el que una estructura periódica puede producir imágenes propias a determinadas distancias regulares [20]. Este efecto se ha aprovechado para los láseres de bloqueo de fase en el infrarrojo cercano, que se denomina matriz de bloqueo de fase del esquema de acoplamiento de difracción [21,22,23]. En este método, se debe colocar un espejo plano frente a la cara de la cavidad de la matriz de láser para proporcionar retroalimentación óptica. La longitud entre el espejo y la faceta de la matriz se denomina distancia de Talbot, que se define como

$$ {Z} _t =\ frac {2n {d} ^ 2} {\ lambda} $$

donde n es el índice de refracción del material, d es la distancia de centro a centro de la matriz, y λ es la longitud de onda del espacio libre. Los supermodos que se reflejan en los canales de la matriz obtendrán la oscilación autorreproductiva. La Figura 1 muestra la distribución del supermodo fundamental y el supermodo de orden superior en una distancia fraccionaria de Talbot. Una vez que los supermodos en la Z t / 4 se reflejan en los canales de la matriz, se extraerán la superposición y el funcionamiento del supermodo fundamental.

Distribución de supermodo fundamental y de orden superior en planos fraccionarios de Talbot. Los óvalos azules corresponden a supermodos fundamentales y los óvalos marrones corresponden a supermodos de orden superior

La potencia de salida de los arreglos QCL de fase bloqueada de cavidad Talbot es limitada debido a una baja eficiencia acoplada entre la cavidad Talbot y los canales del arreglo. Para aumentar aún más la potencia de salida de las matrices QCL de cavidad Talbot, se debe aumentar el factor de llenado (relación entre el ancho de la cresta y el período). Considerando que, al ensanchar el ancho del canal surgirá una emisión de modo de orden superior de los elementos de la matriz. Reducir la distancia de centro a centro aumentará la acumulación de calor. La estructura cónica es uno de los mejores métodos para aumentar el factor de llenado y al mismo tiempo garantizar un funcionamiento de modo fundamental de la propia cumbrera. En esta carta, se explotan las estructuras cónicas y las cavidades de Talbot se integran en un lado de las estructuras cónicas, respectivamente. Los dispositivos con el extremo recto conectado a la cavidad de Talbot muestran una operación de supermodo fundamental con una divergencia de campo lejano limitada por difracción cercana (D.L.) de 2,7 °. Por el contrario, los dispositivos con el extremo cónico conectado a la cavidad de Talbot muestran un funcionamiento en supermodo de alto orden, sea cual sea la longitud de la cavidad de Talbot. Se obtiene una potencia pico máxima de 1,3 W para los dispositivos con el extremo recto conectado a la cavidad Talbot con una densidad de corriente umbral de 3,7 kA / cm 2 y una eficiencia de pendiente de 0,6 W / A a 298 K.

Métodos

La oblea QCL se cultivó en un n-dopado (Si, 2 × 10 17 cm −3 ) Oblea de sustrato de InP por epitaxia de haz molecular de fuente sólida (MBE). La estructura de la región activa (AR) consta de 35 períodos de In 0.67 con compensación de deformación Ga 0,33 Como / en 0.37 Al 0,63 Como pozos cuánticos y barreras. Toda la estructura de la oblea antes de la fabricación es una capa de revestimiento de InP inferior de 4 μm (Si, 3 × 10 16 cm −3 ), N-In 0.53 de 0,3 μm de espesor Ga 0,47 Como capa (Si, 4 × 10 16 cm −3 ), 35 etapas activas / inyector, n-In 0.53 de 0,3 μm de espesor Ga 0,47 Como capa (Si, 4 × 10 16 cm −3 ), Capa de revestimiento superior InP de 2,6 μm (Si, 3 × 10 16 cm −3 ), Capa dopada gradualmente con InP de 0,15 μm (cambiando de 1 × 10 17 a 3 × 10 17 cm −3 ) y una capa de revestimiento de InP altamente dopada de 0,4 μm (Si, 5 × 10 18 cm −3 ).

Después de la epitaxia en MBE, los dispositivos se grabaron con el método de grabado químico húmedo y luego se depositaron 450 nm SiO 2 con deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD). Después de abrir la ventana de inyección eléctrica, se formó el contacto de metal superior. Las dos secciones de la cavidad Talbot y la matriz cónica están conectadas eléctricamente a través del contacto superior de Au. Luego, se diluyó el sustrato de la oblea y se evaporaron los contactos metálicos de contacto del fondo. La oblea se cortó en aproximadamente 2 mm de largo con una sierra para controlar con precisión la longitud de la cavidad de Talbot. Finalmente, los dispositivos se soldaron con la epiladora hacia abajo sobre el disipador de calor de cobre con soldadura de indio. Dado que la sección de la cavidad de Talbot se inyecta eléctricamente, el calor se acumulará en su amplia dimensión, lo que debe evitarse empleando el aislamiento eléctrico en el trabajo futuro. La sección de la cavidad de Talbot probablemente se pueda reemplazar con otro material de guía de ondas empleando la fabricación complicada, como la unión y alineación de obleas, y aún se puede lograr la operación de bloqueo de fase. De acuerdo con la distribución de supermodo de la cavidad de Talbot en la Fig.1, se determinó que la longitud de nuestra cavidad de Talbot era Z t / 8 similar a la ref. [19] que es de alrededor de 104 μm en esta carta. La figura 2 muestra el dibujo y las imágenes microscópicas del dispositivo. Las matrices contienen cinco elementos cónicos y una cavidad Talbot. El elemento cónico consta de un extremo cónico de 1 mm de largo y un extremo recto de ~ 0,9 mm de largo con un ancho que varía de 10 a 16 μm. El espacio de centro a centro entre elementos adyacentes en la matriz es de 25 μm y la longitud de cada dispositivo láser es de alrededor de 2 mm. La longitud de la cavidad de Talbot en este documento es de alrededor de 104 μm.

un Bosquejo del elemento cónico en las matrices; el esquema 3D de las matrices con b extremo recto conectado a la cavidad de Talbot y c extremo cónico conectado a la cavidad de Talbot, correspondiente a las imágenes del microscopio de faceta frontal de d y e

Resultados y discusión

De acuerdo con la teoría del modo acoplado, el número de supermodos en una matriz de fase bloqueada es el mismo que el número de elementos [24]. Por ejemplo, una matriz de fase bloqueada con cinco elementos tendrá los cinco supermodos. Suponiendo solo el acoplamiento adyacente entre los elementos de la matriz en la cavidad de Talbot, el patrón de distribución de campo cercano del supermodo de orden diferente se puede obtener con la matriz acoplada [24]. La intensidad del campo cercano que cambia en función de la dimensión lateral de la matriz se puede demostrar como [25]:

$$ {E} _j \ propto \ sum \ limits_ {m =1} ^ M \ sin \ left (\ frac {mj} {M + 1} \ pi \ right) \ exp \ left [- \ frac {{\ izquierda (x- {x} _m \ right)} ^ 2} {\ omega ^ 2} \ right] $$

donde j es el orden del supermodo, M es el número de elementos de la matriz, ω es la cintura del haz de Gauss en cada elemento, y x m es la ubicación central de cada elemento. Los resultados de la simulación de supermodos de diferentes órdenes se muestran en la Fig. 3a. Los patrones de campo lejano correspondientes se pueden deducir con la transformada de Fourier de la distribución de campo cercano, como se muestra en la Fig. 3b.

un Patrones de campo cercano calculados del N =Supermodos de 1, 3, 5 órdenes en una matriz de cinco elementos acoplados por difracción. El supermodo fundamental ( N =1) se calcula en función del extremo recto conectado a la cavidad de Talbot y los supermodos de orden superior ( N =3, 5) se basan en el cono conectado a la cavidad de Talbot. b Los patrones de campo lejano simulados según a . c La distribución de campo lejano medida de la matriz QCL con el extremo recto conectado a una cavidad Talbot. d La distribución de campo lejano medida de la matriz QCL con el extremo cónico conectado a una cavidad Talbot

Los patrones de campo lejano de las matrices de fase bloqueada de la cavidad Talbot se midieron desde la faceta de la guía de ondas de la matriz utilizando la técnica de bloqueo con un detector de telururo de mercurio-cadmio (MCT) a temperatura ambiente. La matriz QCL montada en una etapa de rotación se colocó a ~ 25 cm de distancia del detector MCT y se controló mediante un software casero para la recopilación de datos. Los patrones de campo lejano medidos de las matrices de cavidades de Talbot se muestran en la Fig. 3c, d, correspondientes al extremo recto conectado al dispositivo de cavidad de Talbot y al extremo cónico conectado al dispositivo de cavidad de Talbot. Las distribuciones de campo lejano de la Fig. 3c muestran fuertes lóbulos centrales a 0 °, lo que indica la existencia de una operación fundamental en el supermodo de acuerdo con la teoría del modo de pareja. El ancho total de la mitad del máximo (FWHM) es de alrededor de 2,7 °, lo que muestra un ángulo de divergencia limitado por difracción (D.L.) según el D.L. fórmula:pecado θ =1,22 λ / d , donde θ es el D.L. ángulo, λ es la longitud de onda y d es el ancho de salida de luz de la matriz. Para un emisor único ahusado con un ancho de salida de luz de 16 μm, el D.L. La divergencia FWHM es de alrededor de 21 °. Los lóbulos laterales aparecen alrededor de ~ 12 °, que están muy cerca de la ubicación FWHM de la envolvente de campo lejano del emisor único. Las intensidades del lóbulo central y los lóbulos laterales corresponden a la distribución del patrón de campo lejano de un solo emisor. Por tanto, los lóbulos laterales tienen la mitad de la intensidad del lóbulo central. Además, se puede obtener una matriz de perfil de campo lejano de un solo lóbulo aumentando el ancho de la cresta para disminuir la divergencia de los elementos de la matriz. El ancho de la cresta más ancho se puede lograr ampliando el cono. Los patrones de campo lejano de la Fig. 3d no tienen lóbulo en la posición central de 0 °, pero son principalmente de dos lóbulos, lo que muestra el funcionamiento de supermodos de orden superior, que corresponden al supermodo de tres órdenes de la Fig. 3b. Para obtener la operación fundamental del supermodo, fabricamos los dispositivos con diferentes longitudes de cavidad de Talbot de 90 a 110 μm en pasos de 1 μm. Desafortunadamente, la operación fundamental del supermodo en el dispositivo con el extremo cónico conectado a la cavidad de Talbot no se puede obtener sea cual sea la longitud de la cavidad de Talbot.

Los resultados de campo lejano de dos tipos de matrices se pueden explicar con el modelo teórico en la ref. [19, 21]. La cavidad de Talbot se puede aproximar como un espejo reflectante con diferente reflectividad equivalente para diferentes supermodos; la reflectividad equivalente alta significa una eficiencia de ganancia alta y una ganancia de umbral baja. El cálculo y la simulación de la reflectividad equivalente son similares a la ref. [19]. La Figura 4 muestra los resultados de la simulación de reflectividad equivalente para supermodos de diferentes órdenes que cambian en función de la longitud de la cavidad de Talbot. Dado que el N =2, los supermodos de 4 órdenes en arreglos de bloqueo de fase siempre tienen una pérdida de guía de onda mayor que N =Supermodos de 1, 3, 5 órdenes, aquí se descuidan en la simulación. Para el extremo recto conectado a las matrices de cavidades Talbot, el supermodo fundamental tiene la reflectividad equivalente más alta y una gran discriminación en comparación con los supermodos de orden superior alrededor de Z t / 8. Para el extremo cónico conectado a la cavidad de Talbot, la discriminación entre el supermodo fundamental y el supermodo de orden superior es relativamente pequeña. En este caso, el láser tiende a funcionar con supermodos de tres órdenes debido a la discriminación de modo débil en el extremo cónico conectado al dispositivo de cavidad Talbot.

La intensidad de reflectividad equivalente teórica de la cavidad de Talbot cambia en función de la longitud de la cavidad de Talbot para N =Supermodos de orden 1, 3, 5 de una matriz QCL de cavidad Talbot de cinco elementos, la parte superior muestra el extremo recto conectado a la cavidad Talbot y la inferior muestra el extremo cónico conectado a la cavidad Talbot

La potencia óptica emitida se midió con un detector de termopila calibrado colocado directamente en frente de la faceta de la guía de ondas láser. Las mediciones del espectro se realizaron utilizando un espectrómetro de infrarrojos por transformada de Fourier (FTIR) con 0,25 cm −1 resolución en modo de escaneo rápido. La Figura 5a muestra la característica de potencia-corriente (P-I) en modo pulsado con el controlador de corriente mantenido a 2 kHz con un círculo de trabajo de 0,2%. Para el dispositivo con el extremo recto conectado a la matriz QCL de cavidad Talbot, se obtiene una potencia máxima total de 1,3 W a 298 K con una densidad de corriente umbral de 3,7 kA / cm 2 y una eficiencia de pendiente de 0,6 W / A, correspondiente a una potencia de salida de 1,6 W con una densidad de corriente de umbral de 3,4 kA / cm 2 y una eficiencia de pendiente de 0,65 W / A para la matriz del extremo cónico, como se muestra en la línea azul y la línea púrpura. Por el contrario, el dispositivo láser único con una cresta de 2 mm de largo × 10 μm de ancho muestra una potencia máxima máxima de 0,41 W, una densidad de corriente de umbral de 3 kA / cm 2 y una eficiencia de pendiente de 1 W / A. La potencia de salida de las matrices con la operación fundamental es tres veces la de un solo emisor. Para presentar más brevemente los resultados probados, la característica de salida de tres dispositivos se resume en la Tabla 1. La potencia de salida promedio de cada elemento es aproximadamente el 63% del emisor único, que es más alta que la de la ref. [19]. Árbitro. [26] informa de una matriz QCL bloqueada en fase con un filtro Talbot dentro de la cavidad con la potencia promedio de un elemento de matriz individual igual al 43% de un solo emisor. La eficiencia es menor que la de los dispositivos con una unión entre la cavidad Talbot y los elementos de la matriz debido a la pérdida óptica adicional en las dos uniones circulares causadas por el método de grabado en húmedo. Árbitro. [27] informa un dispositivo de seis elementos integrado con una cavidad Talbot con cinco veces la potencia de salida de un emisor único con una eficiencia de acoplamiento de aproximadamente el 83%. La menor eficiencia en nuestros dispositivos se debe probablemente a pérdidas por difracción de borde más fuertes en la cavidad de Talbot y a la fabricación con el método de grabado en húmedo. El siguiente trabajo debe adoptar el método de grabado en seco y aumentar la longitud de la zona cónica para obtener una mayor escala de potencia. El recuadro de la Fig. 4a muestra el espectro láser de las matrices de bloqueo de fase a temperatura ambiente y 1,3 I th . Se midió que la longitud de onda central era de 4,8 μm con una naturaleza multimodal resultante de la falta de un mecanismo de selección de modo longitudinal. El espectro monomodo se puede lograr mediante la introducción de una rejilla de retroalimentación distribuida (DFB) en la capa de revestimiento superior. Las características térmicas de los QCL amplios y los arreglos de QCL se simulan con el software de elementos finitos COMSOL. El ancho de la cresta fija se establece en 10 μm y el espacio intermedio de los elementos de la matriz cambia de 0 a 20 μm en un paso de 5 μm. La Figura 5b muestra la temperatura de AR cambiando en función del elemento interespacio. La temperatura de AR en el dispositivo de cresta ancha es aproximadamente 20 K más alta que en el dispositivo de cavidad Talbot.

un Cambio de potencia máxima total en función de la corriente de inyección a 298 K para el extremo recto (línea azul) / extremo cónico (línea púrpura) conectado a la matriz QCL de cavidad de Talbot y una matriz de 2 mm de largo × 10 μm de ancho láser único (línea verde). Todos los dispositivos no tienen revestimiento en ambos lados de la cavidad. El controlador actual se mantiene a 2 kHz con un círculo de trabajo del 0,2%. El recuadro es el espectro láser de las matrices de extremo recto a 1,3 veces la corriente de umbral, que alcanzó un máximo de 4,8 μm. b La temperatura de la región activa de la matriz QCL cambia en función de los elementos de la matriz en el espacio intermedio. El ancho de la cresta de los elementos de la matriz se fija en 10 μm, y el espacio intermedio cambia de 0 a 20 μm con un paso de 5 μm

Conclusión

En conclusión, hemos demostrado las matrices cónicas QCL integradas con cavidades Talbot en extremo recto y extremo cónico, respectivamente. Los dispositivos con la cavidad Talbot integrada en el extremo recto muestran patrones de campo lejano en modo fundamental con un D.L. divergencia de 2,7 ° a una longitud de onda de emisión de 4,8 μm. Se obtiene una potencia de salida de 1,3 W para el arreglo de extremos rectos con una eficiencia de pendiente de 0,6 W / A. Dado que la matriz de fase bloqueada de la cavidad Talbot no requiere una distancia de acoplamiento muy cercana, la acumulación de calor es menor que la de las matrices evanescentes acopladas por ondas. Dichos dispositivos tienen potencial para arreglos QCL de alto brillo de operación de ciclo de trabajo alto con D.L. divergencia. El trabajo futuro debería centrarse en la selección de un espacio intermedio y ancho de cresta de elemento de matriz apropiado, el uso de guías de ondas de cresta enterradas y la gestión térmica con refrigeradores de micro-impacto [28]. Además, el número de cascada reducido del AR hará una gran contribución a la operación de ciclo de trabajo alto de los QCL de alto brillo [29].

Abreviaturas

AR:

Región activa

CW:

Onda continua

D.L .:

Difracción limitada

DFB:

Comentarios distribuidos

FWHM:

Ancho completo de la mitad como máximo

I th :

Corriente de umbral

MBE:

Epitaxia de haz molecular

MCT:

Telururo de mercurio-cadmio

MOVPE:

Epitaxia en fase de vapor orgánico metálico

PECVD:

Deposición de vapor químico mejorada con plasma

P-I:

Corriente de potencia

QCL:

Láser de cascada cuántica

WPE:

Eficiencia del enchufe de pared


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