Objetivo de tungsteno de alta pureza para chips semiconductores

En lo que respecta a los chips semiconductores calientes actuales, la nueva película de óxido de tungsteno puede servir como barrera de difusión, capa adhesiva y electrodo de memoria de circuito integrado a gran escala, etc. ., que puede mejorar significativamente la calidad general de los productos de chips.

¿Cómo producen los objetivos de tungsteno de alta pureza películas de óxido de tungsteno? La pulverización es una de las principales técnicas para preparar materiales de película delgada de óxido de tungsteno. Bombardea los objetivos de tungsteno con iones de alta velocidad, y los átomos generados se emiten y acumulan en la superficie del sustrato para formar un recubrimiento. La película de óxido de tungsteno producida por el método de deposición por pulverización catódica tiene las ventajas de alta densidad, buena adhesión y buena resistencia a la corrosión, por lo que es adecuada para su uso en chips semiconductores.

¿Cómo hacer el objetivo de tungsteno?

En primer lugar, el polvo de tungsteno se coloca en la funda y se evacua, y el polvo de tungsteno en la funda se densifica por primera vez mediante el proceso de prensado isostático en frío para formar el primer blanco de tungsteno objetivo. Después del primer tratamiento de densificación, se retira la vaina y el primer blanco de tungsteno blanco se somete a un segundo tratamiento de densificación usando un proceso de sinterización por inducción para formar un segundo blanco de tungsteno blanco. Después del segundo tratamiento de densificación, el segundo blanco de tungsteno se somete a un tercer tratamiento de densificación mediante un proceso de prensado isostático en caliente para formar un blanco de tungsteno.

El objetivo de tungsteno producido por el método tiene las características de alta densidad, bajo contenido de impurezas, fuerte estabilidad mecánica, buena uniformidad de la estructura interna y gran tamaño de grano de cristal, que puede cumplir mejor con los requisitos de los procesos modernos de pulverización catódica.

Conclusión

Gracias por leer nuestro artículo y esperamos que pueda ayudarlo a comprender mejor el objetivo de tungsteno de alta pureza. Si desea obtener más información sobre el tungsteno de metal refractario, nos gustaría recomendarle que visite Metales refractarios avanzados (ARM) para obtener más información.

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