Interferometría de resolución espacial de subpíxeles

Los innovadores de NASA Marshall, junto con el Centro de Óptica Aplicada de la Universidad de Alabama en Huntsville, desarrollaron un sistema que aumenta la resolución espacial de las mediciones interferométricas de superficies ópticas más allá del límite de Nyquist fundamental del sistema/detector de imágenes del interferómetro. El sistema de interferometría de resolución espacial de subpíxeles (SSRI) permite a los fabricantes ópticos calificar con precisión las características de la superficie de las frecuencias espaciales que no se pudieron resolver con precisión utilizando interferómetros estándar.

Las tendencias actuales en el diseño óptico están produciendo nuevos tipos de especificaciones, que requieren distintas bandas de frecuencia espacial y demandan ópticas de mayor apertura; sin embargo, la capacidad de caracterizar estas características en la apertura completa requiere mejoras. El sistema SSRI satisface esta necesidad al aumentar la resolución espacial de las mediciones interferométricas de apertura completa mediante una técnica que incorpora costuras entrelazadas de mediciones de baja resolución tomadas con desplazamientos laterales de subpíxeles para mejorar la resolución espacial.

El sistema SSRI aumenta la resolución espacial de las mediciones interferométricas al realizar múltiples mediciones de una superficie óptica con desplazamientos de subpíxeles entre un detector de dispositivo acoplado cargado (CCD) y la óptica bajo prueba entre mediciones. Luego, las medidas se combinan para crear una sola medida con mayor resolución espacial.

Las medidas se combinan usando un algoritmo de costura. Este método alivia la restricción de resolución espacial definida por el tamaño de píxel y el espaciado. Se supone que el sistema óptico ha sido diseñado para permitir el paso de las características de mayor frecuencia espacial. Esta nueva técnica permitirá que la óptica de precisión se califique con precisión según las especificaciones y permitirá a los fabricantes corregir de manera determinista los errores de frecuencia espacial más altos. El sistema SSRI se puede integrar, con ligeras modificaciones, en los interferómetros y perfiladores interferométricos disponibles en el mercado para aumentar la resolución espacial obtenible.

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