Evaporadores de Película Delgada: Principio, Tipos y Aplicaciones
Qué son
Máquinas que depositan capas atómicas o moleculares extremadamente finas sobre un sustrato mediante evaporación o sublimación en cámara de vacío. Constan de cámara de vacío, elemento calefactor y sistema de sujeción/movimiento del sustrato.
Técnicas principales
Evaporación resistiva
Corriente eléctrica calienta el material objetivo (filamentos de oro, aluminio o láminas) hasta evaporación/sublimación. Los filamentos son difíciles de cargar y limitan cantidad; las láminas son más manejables y rinden más.
Evaporación por haz de electrones
Haz de electrones de alta energía bombardea el material en un hogar refrigerado. Permite materiales con alta temperatura de evaporación sin calentar todo el equipo. Requiere equipamiento específico y es costoso.
Problema de materiales inestables
Algunos materiales expulsan partículas sólidas que arruinan la película. Requieren fuente de calor cerrada que deje escapar solo el gas a través de orificios diminutos.
Equipo industrial
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