Blanco de aleación de tungsteno y titanio para chips

Objetivo de aleación de tungsteno y titanio para chips

La principal razón por la que los nuevos chips semiconductores eligen la aleación de tungsteno y titanio Los objetivos como barrera de difusión y capa de unión es que la aleación tenga una buena adherencia a la superficie y excelentes propiedades de disipación del calor. De esta forma, el producto preparado tendrá un mayor rendimiento integral.

Blanco de aleación de tungsteno y titanio para chips

La aleación de tungsteno y titanio es una aleación que tiene las ventajas de los metales de transición tungsteno y titanio. Tiene las características de mayor densidad y pureza, mejor resistencia a la corrosión y menor efecto de expansión de volumen, lo que puede reducir eficazmente la formación de partículas en el proceso de fabricación, es decir, puede preparar con éxito películas de alta calidad.

El siguiente es un método de preparación de aleación de tungsteno y titanio:

Paso 1. Tome una cierta cantidad de polvo de tungsteno y polvo de titanio y mezclarlos uniformemente bajo la protección de una atmósfera inerte. El porcentaje de masa del polvo de tungsteno es del 10 al 65%.

Paso 2. Se usa una prensa mecánica o una prensa isostática en frío para presionar el material mezclado resultante en un espacio en blanco.

Paso 3. La pieza en bruto producida se coloca en un horno de sinterización al vacío para densificación y sinterización.

Paso 4. Después de enfriar el material de tungsteno-titanio sinterizado en el paso 3, se funde en un horno de arco eléctrico al vacío no consumible para obtener el producto.

En comparación con otros métodos de preparación, las ventajas de este método de preparación de aleación de tungsteno-titanio son:

1. El proceso de producción es simple y la operación es conveniente.

2. El uso de materias primas mixtas de polvo de tungsteno y titanio, el proceso de prensado, sinterizado y fundición por arco pueden resolver eficazmente los problemas técnicos de la baja eficiencia de preparación de la aleación tradicional de tungsteno y titanio y el difícil control de la uniformidad del material y el contenido de impurezas.

3. El material de aleación de tungsteno-titanio preparado mediante este método tiene un porcentaje de masa de tungsteno del 10 al 60%, que es adecuado para la preparación por lotes.

Conclusión

Gracias por leer nuestro artículo y esperamos que pueda ayudarlo a comprender mejor la aleación de tungsteno y titanio. Si desea obtener más información sobre otros metales refractarios y aleaciones, nos gustaría aconsejarle que visite Metales refractarios avanzados (ARM) para obtener más información.

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